真空鍍（dù）膜機精（jīng）抽太慢（màn）主要從以下幾個方（fāng）麵進行原因查找：
　一、擴散泵可能不太（tài）給力。
　解決辦法：可以用電離規單接（jiē）到擴散（sàn）泵泵口，看（kàn）擴散泵單抽能達到多少（shǎo），要看抽的時間和極限，然後進（jìn）行（háng）對比。
    二、真空係統有微漏。
　解決辦法：這就需要慢慢檢漏，看看保真（zhēn）空時間（jiān）能不能（néng）達不達（dá）標（biāo）。
　三、箱體太髒，太髒放氣量就大了（le）。
　解（jiě）決辦法：清洗箱體
　四、前級真空度不行，機械泵或機（jī）械泵加羅（luó）茨泵的極限真空不行。
　解決（jué）辦法：可以用電阻規單獨檢測前級管道。

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