真空鍍膜塗層膜(mó)厚測量方式?
作者: 來(lái)源: 日期:2021-07-14 12:19:06 人(rén)氣:2542
我們日常生活中,很多生活物品(pǐn)都經(jīng)過鍍膜機鍍上了一層膜層,讓產品不僅變得更美(měi)觀,也更實用。但是很多人會有一(yī)個疑問,那既然是鍍了一層膜層,薄(báo)膜肯定是有厚度(dù)大(dà)小的,那麽薄膜厚度具體多厚呢(ne),以及怎(zěn)麽去測量(liàng)?
薄膜必須沉積在基(jī)底之上, 所以離開了基片也就(jiù)無從談薄膜沉積(jī)的問題(tí)。基片的清洗好壞(huài)又對薄膜的質最(zuì)有極共重要的影響(xiǎng)。同時在薄膜的製(zhì)作中還必須知道(dào)薄膜的厚度,脫離了薄膜的厚度來談薄膜性(xìng)質的測最也是亳(bó)無意義的(de)。 所以, 膜(mó)厚的測量和(hé)基片的清洗可以說是和薄膜製(zhì)作相關的重要技術。一般所謂的厚度是指(zhǐ)兩個完全平整的平行平麵之間的距離,這個概念是一個幾何概念。
理想的薄膜厚度是指基片(piàn)表麵和薄(báo)膜表麵(miàn)之間的距離。在薄(báo)膜形貌的三維(wéi)度量中,相對於(yú)薄膜的厚度來講,其他兩維的度量可以說是無窮大。由於(yú)實際上存在的表麵是不(bú)平整(zhěng)和不(bú)連續的,而(ér)且薄膜的內(nèi)部還可能存(cún)在著氣孔、雜質(zhì)、晶格缺陷和表麵吸附分子等等,所(suǒ)有要嚴(yán)格地定義和精確地測(cè)量薄膜的厚度實際上是(shì)很困(kùn)難的。
膜厚的定義位當根據測址的方法(fǎ)和測址的目的(de)決定。 因此,同一(yī)個薄膜(mó),使用不同的測量方法會得到不(bú)同的結果, 即不同的厚度。
在薄膜油測(cè)量中(zhōng)的表麵並不(bú)是一個幾何的概念,而是一個 物埋概念,是指表(biǎo)麵分子(原子)的集(jí)合。 平均(jun1)表麵是指表麵原子所有(yǒu)的(de)點到(dào)這個麵(miàn)的距(jù)離代數和等於零, 平均表麵(miàn)是一個兒(ér)何概念。
我們通常將(jiāng)基片的一側的表麵分子的集(jí)合的平均表麵稱為基(jī)片表麵(miàn);薄膜上不和基片接觸的那一側的表麵的(de)平均(jun1)表麵稱(chēng)為薄膜的形狀表麵(miàn),將所測量的薄(báo)膜原子重新排列(liè),使其密度和大塊狀(zhuàng)固體材料完全一樣且均(jun1)勻的分布在(zài)基(jī)片表(biǎo)麵上,這時平均表麵稱為薄膜質量等(děng)價表麵;根據所測(cè)量薄膜的物理性(xìng)質等(děng)效為一種(zhǒng)長度和寬度與所測量的薄膜一樣的大塊固體材料的薄膜,這時的平均表麵稱為薄膜物性等價表麵。 形狀膜(mó)厚是比較接近於直觀(guān)形式(shì)的膜(mó)厚, 通常以µm為單位; 質量膜厚反(fǎn)映了薄膜(mó)中包含(hán)物質為多少,通常 以 µg/cm#8217;為單位, 物性膜厚在實際使用上較有用, 而且比較容易測(cè)量。
由於(yú)實際表麵並不(bú)平整,同時(shí)薄膜製(zhì)作過程中又不可避免地要有各種缺(quē)陷、 雜質和吸附分子等存在,所以不管用哪 一種方法來定義和測量膜厚,都(dōu)是一個平均值,而且足包括了雜質、缺陷(xiàn)以及吸(xī)附分子在內的薄膜的厚度值。
真空鍍膜機鍍膜是在真空腔體下進行鍍膜的,對於測量膜厚度來說,是需要這方麵專業的(de)測(cè)量儀才能測(cè)出厚度大小。