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如何掌控真空鍍膜的均勻性

作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2554
如何掌控真空鍍(dù)膜的均勻性
我們先來認(rèn)識下怎麽調試鍍膜(mó)機,因為掌握(wò)調試鍍膜機(jī)是使用鍍(dù)膜機的關鍵怎麽調試鍍膜機(jī)
1、測試(shì)設備的抽真空速度,在測試過(guò)程中檢查漏氣情況與(yǔ)各真空泵的性能;
2、測試設(shè)備的密封(fēng)性能,就是抽到(dào)極限後保壓1小(xiǎo)時看壓降是否達(dá)標,同時排除細小的漏孔;
3、產品試作,檢驗其他的性能,比如(rú)傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保證的話就繼續打樣並(bìng)作測試。
5、所有的測(cè)試應作記(jì)錄,並有記錄人簽字(zì)以及有使(shǐ)用部門或工程部門的人確認簽字

怎(zěn)麽掌控真空鍍膜的均勻(yún)性?
由於車燈鍍膜機原理(lǐ)的不同分為很多種類,僅僅因為都需(xū)要高(gāo)真空度而擁有統一名稱。所以對(duì)於不同原理的真空鍍膜,影響均勻(yún)性的因素也不盡相同。並且均勻(yún)性(xìng)這個概念本身也會隨著鍍膜(mó)尺度和薄膜成分而有著不同的意(yì)義,下麵分別說一下:

均勻性(xìng)主要(yào)體現在3方麵:

1、厚度上的均勻性(xìng),也可以理解為粗糙度,在光學薄膜的尺度上(shàng)看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜(mó)的均勻性已經相當好,可以輕鬆將粗糙度(dù)控製(zhì)在(zài)可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子(zǐ)鍍膜機的光學特(tè)性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如(rú)果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說要實現10A甚至1A的表麵平整,是現在真空(kōng)鍍膜中主要的技術含量與技術瓶(píng)頸所在。
2、化(huà)學組分上的(de)均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由於尺度過小而很容易的產生不均(jun1)勻(yún)特性,SiTiO3薄膜,如果濺控濺(jiàn)射鍍膜機過程(chéng)不科學,那麽實際表麵的(de)組分並不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的(de)技術含量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶(jīng),是真空鍍膜技術中的熱點問(wèn)題。 
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