真（zhēn）空鍍膜（mó）機精抽太（tài）慢主要從以下幾個方麵進行（háng）原因查找：
　一、擴散泵可能不太給力。
　解決辦法：可以用電離規單接到擴散（sàn）泵泵口，看擴散泵單抽能達到多少，要看抽的時間和極（jí）限（xiàn），然後進行對比。
    二、真空係（xì）統有微漏。
　解決辦（bàn）法：這就需要慢慢檢漏，看（kàn）看保真空時間能不能達不達標。
　三、箱體太（tài）髒，太髒放氣量就大（dà）了。
　解決辦法：清洗箱體
　四、前級真空度不行，機械泵（bèng）或機械泵（bèng）加羅茨泵的極限真空不行。
　解決辦法：可以用電阻規單獨檢測前級管道。

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