為盡量減小
真空鍍膜機真空室形變帶來的影響,我們將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性的中間層上,其與(yǔ)真空室(shì)底壁之間(jiān)采用點(diǎn)、線、麵活性支撐,以吸收和隔離形(xíng)變,並(bìng)設置形變補償調(diào)節機構,在(zài)係統抽真(zhēn)空前,參照有限元計算提供的理論數據預設適當的補償量,以使(shǐ)其在真(zhēn)空狀態下達到平衡。而這樣的真空設計也使得現在的真空鍍膜機就能夠讓鍍膜在真空環境下正(zhèng)常進行,防止外界因素的影響(xiǎng)。
而為了驗證有限元計(jì)算的結果,對真空室的形變和補償進行了測試。首先將四隻千分表定(dìng)位在工作台安裝基點的真空壁外側(cè),當真空室由大氣抽到真空時,記錄各千分表(biǎo)的(de)變化量,經歸(guī)一(yī)化處理後為用激光自準直儀調整形變補(bǔ)償。由水平調整的自準直儀發(fā)出一束激光穿過真空(kōng)室的玻璃窗照射固定於工(gōng)作台上的反射鏡,在大氣環境下調整形變(biàn)補(bǔ)償調節(jiē)機(jī)構,使反射光束進入自準直儀接收(shōu)視場,記錄兩維(wéi)角(jiǎo)度偏差(chà)。這(zhè)些數據(jù)之後需要對其進行分析處理,得(dé)到測試結果。