排氣係統為鍍膜機真空係統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨(cí)泵)、油擴散泵三大部分組(zǔ)成。今天
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機(jī)械(xiè)泵是應用最廣泛的(de)一種低真空泵,它是用油來保持密封效果(guǒ)並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸(xī)氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體(tǐ)積(jī)不斷膨(péng)脹從而獲得真(zhēn)空(kōng)。 機械泵有很多種,常用的有滑閥(fá)式(此(cǐ)主要應用於大(dà)型設備)、活塞往複式、定片式和旋片(piàn)式四種類型。 機械泵常常(cháng)被用來抽除幹燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣(qì)體,機械泵一般被用來抽除永久性的氣體,但是對水氣沒(méi)有好的效果,所(suǒ)以它(tā)不能抽除水氣。旋片泵(bèng)中起主(zhǔ)要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子(zǐ)在定子裏麵但與定(dìng)子不同心軸,象兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈(dàn)片,兩彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。
它的兩個(gè)彈(dàn)片交替起著(zhe)兩方麵的作用,一方麵從進氣口吸進氣體,另一方麵壓縮已經吸進的氣體,將氣體排(pái)出泵外。轉子每旋轉一周,泵完成兩次吸氣和兩次排(pái)氣。當泵連續順時(shí)針轉動時,旋片泵(bèng)不斷(duàn)的通(tōng)過進氣口(kǒu)吸入氣體,又從(cóng)排氣口不斷的排出泵外,實現對容器抽氣(qì)的目的(de)。為了提高泵的極限真空度,均將泵的定子浸(jìn)在油裏麵這樣,在各處的間隙中及有害空間裏麵經常保持足夠的油,把空隙填滿,所以油一方(fāng)麵起到了潤滑作用,另一方麵又起了密封和堵塞縫隙及有害空間的作用(yòng),防止氣體分子通過(guò)各種渠道反流到壓強低的空間(jiān)去。
機械泵是從大氣開始工作(zuò)的,它的主要參(cān)數有極限真(zhēn)空,抽氣速率,此為設(shè)計與選用機(jī)械泵的重(chóng)要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限(xiàn)真空,雙(shuāng)級機械泵可以將(jiāng)容(róng)器從大氣抽到(dào)6.7*10-2帕,甚至更高。
抽氣速率,是(shì)指旋片泵按額定轉數運轉時,單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積,可以用下公式計算:
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示吸(xī)氣結(jié)束時空腔(qiāng)截麵積,L表示空腔(qiāng)長(zhǎng)度,係數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表(biǎo)示當轉子處於水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔(qiāng)內(nèi)的體積(jī)最大,轉(zhuǎn)速為(wéi)n。
機械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉速及皮帶的鬆緊度有關係,當電機的皮帶比(bǐ)較鬆(sōng),電(diàn)機轉速很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所(suǒ)以要經常保養(yǎng),點檢,機械泵油的密(mì)封效果也需要(yào)常常點檢,油過少,達不到密封效果,泵內(nèi)會(huì)漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞(sāi),無法吸氣和(hé)排氣,一般,在油位在線(xiàn)下0.5厘米即可。