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真空鍍膜機比(bǐ)較片機構性能

作者: 來源: 日期:2016-03-28 9:29:01 人氣:4252
        分析現有光學真空鍍膜機比(bǐ)較片(piàn)機構在使用過程中存在的問題。根據現代光學真空鍍膜機的發(fā)展(zhǎn)趨勢和實際生產中急(jí)需解決的問題,通過多(duō)方(fāng)麵的研究分析,優化設計新一代的(de)鍍膜機比較片結構,解(jiě)決影響光學薄膜質量(liàng)和超(chāo)多層(céng)精密光學薄膜鍍製的問題(tí),以提高薄膜的監控精(jīng)度,實現係統(tǒng)的自(zì)動控製,提高光學(xué)真空鍍膜(mó)機生產效(xiào)率,降低生產成(chéng)本。使現代光學真空(kōng)鍍膜機(jī)的結構配置及使用效果達到最佳。
  從上世紀八十年代以來,全球光電(diàn)科學技術發展與進步迅猛,我(wǒ)國研(yán)發(fā)光學真空鍍膜機設備,在引進消化吸收的基礎上,也迅速發展起來。最近二十(shí)多年,我(wǒ)國逐漸成(chéng)為全球光(guāng)學產品的加工基地,作為光學產(chǎn)品的關鍵工序,也是(shì)最後一道工序-- 鍍(dù)膜,要求越來越高,真空鍍膜(mó)機(jī)性能和配置也必然(rán)要(yào)得到加強,提高設備質量、完善設備性能、提高生產效率等問(wèn)題(tí)就顯現出來,這就涉(shè)及到此類設備的改造、設(shè)計研發,要求相關技術(shù)人員去解決。
  真空(kōng)鍍膜機比較片機構就是該類設備的必不可少的關鍵部件,高(gāo)端配(pèi)置(zhì)的設備對比較片機構要求越來越高(gāo),它對鍍(dù)製多(duō)膜層的檢(jiǎn)測和生產效率有著重要的不可替代的作(zuò)用。
        現有真空鍍膜機比較(jiào)片機構
   國內低端的真空鍍膜機,從發展之初到近10年左右,大多還沿用的該比較(jiào)片結構,如圖1 所示。此比較片換位機構,通常由6 個獨立的直徑Φ22mm 的比較(jiào)片組(zǔ)成。該機構主要由1 個托(tuō)盤16、三個支撐杆110 及1 個(gè)比較(jiào)片盤18 組成(chéng),三個支撐杆(gǎn)110 對托盤16起固定、支撐的作用,比較片盤(pán)18 靠齒輪齧合把運動輸入(rù)使之旋轉撥片,三者配合就完成(chéng)撥(bō)片換位動作。由於一(yī)般的鍍膜機真空室直徑(jìng)尺寸都不大,整個機構的直徑(Φ124mm)相比(bǐ)較就有些偏大(dà),導致工件盤上可裝載的鍍製工件麵積比較小,並且該機構隻(zhī)可放(fàng)置6 個比較片13,直接影響生產效率。
  該結構(gòu)的特點(diǎn)是:結構簡單(dān),加工製造方便,安裝實施方便易行。缺點:該結構直徑麵積比(bǐ)較大,影響裝載工件的數量;比(bǐ)價片放置數量少,降低(dī)了(le)生產效率;強度和剛度有限,又由於該結構完全暴露在真空室內,真空室內高溫濺射磨(mó)料的影響,使轉動平穩性、靈活性一般,傳(chuán)動位置(zhì)重複的一致性(xìng)誤差較大,清洗維護頻繁。
  根據(jù)現有比較(jiào)片結構(gòu)在使用過程(chéng)中暴露出的問題,對原有通(tōng)用鍍膜機比(bǐ)較片結構進行多次的改進,通過設計可重疊放置比較片存(cún)儲筒,使比較片機構直徑所占麵積減小,但放置的比較片數量增加到20 片左右, 整個機構直徑縮小為Φ89mm。結果可(kě)增加較小工件鍍膜盤(pán)上(shàng)裝載工件的數量,提高生產效率,還可以提高(gāo)薄膜監控的精度,並降低對硬件係統的要求,容易實現對係統的(de)自動控製。
  具體動作實施,改(gǎi)進後多片比較片(piàn)機構的(de)轉動,通(tōng)過連接板23 和連接塊21 固定在真空室頂(dǐng)板上,比較片機構的旋轉運動,由旋(xuán)轉密封軸把(bǎ)運動輸入真空室(shì)內的大齒輪,帶動(dòng)小齒輪所(suǒ)在傳動軸24 的轉動,最終實現整個(gè)比較片機構(gòu)的轉動。比較片切換比(bǐ)較片時,通過撥盤29 轉動一個工位,比較片存儲筒219 內落下一個比較片,到達預設的位(wèi)置(zhì),同時,切換的比較片隨著工(gōng)位轉動(dòng)落在比較片接受筒212 內,每切(qiē)換一次,撥動一個工位。其中,傳動軸24、大齒輪、小齒輪和軸承座組成的傳動機構來完成撥盤轉動。

  其特點是:(1)減小比(bǐ)較(jiào)片機構直徑的麵積,提高裝載鍍(dù)製工件的數量;(2) 增(zēng)加比較片的數量,提高生產效率,提(tí)高(gāo)薄(báo)膜監控的精度,降低對硬件係統的要求,係統容易實現自動控製。缺點:該比較片結構直(zhí)徑小而長(Φ89×370),影響其使(shǐ)用的強度和剛(gāng)度;由於(yú)該結構暴露在高溫濺射磨料的真空室內,影響其(qí)轉動平穩性、靈活(huó)性,且轉動位置重複的一致性較差,維護清洗頻繁費工。

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