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PVD 工藝過程

作(zuò)者: 來(lái)源: 日期:2016-10-19 8:38:29 人氣:5569
PVD 工藝過程
塗層(céng)技術及工藝(yì)流程塗層技(jì)術及工藝流程塗層技術及工藝流程塗層技術及工(gōng)藝流程     1.真空塗層技(jì)術的發展(zhǎn)   真空塗層技術起步時(shí)間不長,國際上在上世紀六十年代(dài)才出現將CVD(化學氣相(xiàng)沉積)技術應(yīng)用於硬質合金刀具上。由於   該技(jì)術需在高溫下進(jìn)行(háng)(工藝溫度高於 1000ºC),塗層種類單一,局限性很大(dà),因此,其發展初期(qī)未免差強人意。   到了上(shàng)世紀七十年代末,開始出現 PVD(物理氣相沉積) 技術,為真空塗層開創了一個充滿燦爛前景的新天地,之後在短短的二(èr)、三十年(nián)間PVD 塗層技術得到迅猛發展,究其原因,是因為其在真空密封的腔體內成(chéng)膜,幾乎無任何環境汙染問題,有利於環保;因為其能得到光亮、華貴的表麵,在顏(yán)色上,成熟(shú)的有七彩色、銀色、透明色、金黃(huáng)色、黑色、以及由金黃色(sè)到黑色之間的任何一種顏色(sè),可謂五彩繽紛,能夠滿足裝飾性的各種需要;又由於 PVD 技術,可以輕鬆(sōng)得到其他方法難以獲得的高硬度、高耐磨性的陶瓷塗層、複合塗層,應用(yòng)在工裝、模具上麵,可以(yǐ)使(shǐ)壽命(mìng)成倍提高,較好地實現了(le)低成本、高收益的效果(guǒ);此外, PVD 塗層技術具有低溫、高能兩(liǎng)個特(tè)點,幾乎可以(yǐ)在任何基材上成(chéng)膜,因此,應用範圍(wéi)十分廣闊,其發展神速也就(jiù)不足為奇。   真空塗層技術發展到了今天還出現了PCVD(物理化(huà)學氣相沉(chén)積)、MT-CVD(中溫化學氣相沉積)等新技術,各種塗層設備、各種塗層工藝層出不窮,如今在這一領域中,已呈現出百花齊放,百家爭鳴的喜(xǐ)人景象。   與此同時,我們還應該清醒地看到,真空塗層技術(shù)的發展又是嚴重不平衡的。由於(yú)刀具、模具的工作環境極其惡劣,對(duì)薄膜附著力的要求,遠高(gāo)於裝飾塗層。因而,盡管裝飾塗層的廠家已(yǐ)遍布(bù)各地,但能夠生產工模塗層的(de)廠家並不多。再加上刀具、模具(jù)塗層售後服務的欠缺,到目前為止,國內大多數塗層設備(bèi)廠家都(dōu)不能提(tí)供完整的刀具塗層工藝技術(包括(kuò)前處理工藝、塗層工藝、塗後處理工藝、檢測技術、塗層刀具和模具(jù)的應用技術等),而且,它還要求(qiú)工藝(yì)技術人員,除了精通(tōng)塗層的專業知識以外(wài),還應具有紮實的金屬材料與(yǔ)熱處理知識、工模塗層前表麵預處理知識、刀具、模具塗層的合理選擇以及上機使用的技術   要求等,如果任一環節出現問題,都會給使用者產生使用效果不(bú)理想這樣的結論。所有這些,都(dōu)嚴重製約了該技術在刀具(jù)、模具上的應用。   另一方麵,由於該(gāi)技術是一門介乎(hū)材料(liào)學、物理學(xué)、電子、化學等學科的新(xīn)興邊緣學科,而國內將其應(yīng)用於(yú)刀具、模具生產領域內的為數不多的幾個骨幹廠家,大多走的也是一條從國外引進先進設備和工藝技術的路子,尚需一個消化、吸收的過程,因此,國內目前在該領域內的技術力量與其發展很不相(xiàng)稱,急需奮(fèn)起直追。   2. PVD 塗層(céng)的基本概念(niàn)及其特點   PVD 是英文“Physical Vapor Deposition”的縮寫(xiě)形式,意思是物理氣相沉積。我們現在一般地把真空蒸鍍、濺射鍍(dù)膜、離子鍍等(děng)都(dōu)稱為物理氣相沉積。   較(jiào)為成熟的(de) PVD 方法主要有多弧鍍與磁控濺射鍍兩種方式。多弧鍍設備結構簡單(dān),容易操作。它的離子蒸發源靠電焊機電源供電即可工作,其引弧的過程也與電焊類似,具體地說,在一定工藝氣壓下,引弧針與蒸發離子源短(duǎn)暫(zàn)接觸,斷開,使(shǐ)氣體放電。由於(yú)多弧鍍的成因(yīn)主要是借助於不斷移動的弧(hú)斑,在(zài)蒸發源表麵上(shàng)連續形成熔池(chí),使金(jīn)屬(shǔ)蒸發後,沉積在基體上而得到薄膜層的,與磁控濺射相比,它不但有靶(bǎ)材利用率高,更具有金(jīn)屬(shǔ)離子離化率(lǜ)高(gāo),薄膜與基體之間結合力強的優點。此外,多弧(hú)鍍塗層顏(yán)色較為穩定,尤其是在做 TiN 塗層(céng)時,每一批次均容(róng)易得到相同穩定的金黃色,令磁控濺射法望塵莫及。多弧鍍的不足之處是(shì),在用傳統的 DC 電(diàn)源(yuán)做低溫塗層條件下,當塗層厚度達到0.3μm 時,沉(chén)積率與反射率接近,成膜變得非常(cháng)困難。而且,薄膜表麵開始變朦(méng)。多弧鍍另一個不足之處是(shì),由於金屬是熔後蒸發,因(yīn)此沉積顆粒較大(dà),致密(mì)度低,耐磨(mó)性比磁控濺(jiàn)射法成膜差。   可見,多弧鍍膜與磁控(kòng)濺射(shè)法鍍膜(mó)各有優劣,為了盡可能地發揮(huī)它們各自的(de)優越性,實現互補,將多(duō)弧技術與磁控(kòng)技(jì)術合而(ér)為一的塗層機應(yīng)運(yùn)而生。在工藝上出現了多弧鍍打(dǎ)底(dǐ),然後利用磁(cí)控濺(jiàn)射法增(zēng)厚塗層,最後再利(lì)用(yòng)多弧鍍(dù)達到最終穩定的表麵塗層顏(yán)色的新方法。   大約在八(bā)十年代(dài)中後(hòu)期,出現了熱陰極電子槍蒸發離子鍍、熱陰極弧磁控等離子鍍膜機,應用效果很好,使TiN 塗層刀具很快得(dé)到普及性應(yīng)用。其(qí)中熱(rè)陰極電(diàn)子槍蒸發離子鍍,利用銅(tóng)坩堝加熱融(róng)化被鍍金屬材料,利用鉭燈絲給工件加熱、除氣,利用電子槍增強離化率,不但可以得(dé)到厚度 3~5μm的TiN 塗(tú)層,而且其結合力、耐(nài)磨性均(jun1)有不俗表現,甚至(zhì)用打磨的方法(fǎ)都難以除去(qù)。但是這些設備都隻適合於 TiN塗層,或純金屬薄(báo)膜。對於多元塗層或複合塗層,則力不從心,難以適應高硬度材料高速切   削以及模具應用多樣性的(de)要求。   3. 現代塗層設備(均勻加熱(rè)技術、溫度測量技術、非平衡磁控濺射技術、輔助陽極(jí)技術、中頻電源、脈衝(chōng)技術) 現(xiàn)代塗層(céng)設備主要由真空室、真空(kōng)獲得部分、真空測(cè)量部分、電源供給部分、工藝氣(qì)體輸入係統、機械傳動部分、加熱及測溫部(bù)件、離子蒸發或濺射源、水冷係統等部(bù)分組成。   3.1 真空室   塗層(céng)設備主要有連續塗層生產線及(jí)單室塗層機兩種形式,由於工模塗(tú)層對加熱及(jí)機械傳動部分有較高要求,而且工模形狀、尺寸千差萬別,連續塗層生產線通常難(nán)以滿足要求,須采用單室塗(tú)層機。   3.2 真空獲得(dé)部分   在真空技術中(zhōng),真空獲得部分是重要組成部分。由於工模件塗層高附著力的要(yào)求,其塗層工藝開始前背景(jǐng)真空度最(zuì)好高於6mPa,塗層工藝(yì)結束後真(zhēn)空度甚至(zhì)可達 0.06mPa 以上,因此合理選擇真空獲得設備,實現高真空度至關重(chóng)要。   就(jiù)目前來說(shuō),還沒有(yǒu)一種泵能從(cóng)大氣壓一直工(gōng)作到接近超高真(zhēn)空。因(yīn)此,真空的獲得不是一種真空設備和方法所能達(dá)到的,必須將幾種泵聯合使用,如機械泵(bèng)、分子泵係統等。   3.3 真空測量部分   真空係統的真空測量(liàng)部分,就是要對真(zhēn)空室內的壓強進行測(cè)量。像真空泵一樣,沒有一種真(zhēn)空計能測(cè)量整個真空範圍(wéi),人們於是按不同的原理和要求製成了許多種(zhǒng)類的真空計。   3.4 電源供(gòng)給部(bù)分靶(bǎ)電源主要有直流電源(如 MDX)、中頻(pín)電源(如美國 AE公司生產(chǎn)的 PE、PEII、PINACAL);工件本身通常需加直流電源(如 MDX)、脈衝電(diàn)源(如美國AE公司生產的 PINACAL+)、或射頻電源(RF)。   3.5 工(gōng)藝(yì)氣體輸入係統   工藝氣體,如氬氣(Ar)、氪氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等,一般均由氣瓶供應,經氣體減壓閥、氣體截止閥、管路、氣體流量計、電磁閥、壓電閥,然後通入真空室。這種氣體輸入係統的優(yōu)點是(shì),管路簡捷、明快,維修(xiū)或更換氣瓶容易。各塗層機之間互不影響(xiǎng)。也有多台塗層機共用一組氣瓶的情況,這種情況在一(yī)些規模較大(dà)的塗(tú)層車(chē)間可能有機會(huì)看到。它的(de)好處是,減少氣瓶占用量,統一規劃、統(tǒng)一布局。缺點是,由於接頭增多,使漏氣(qì)機會增加。而且,各塗層機之間會互相幹擾,一台塗(tú)層機的管路漏(lòu)氣,有可(kě)能會影響到(dào)其他塗層機的產品質量。此外,更換氣瓶(píng)時,必須保證所有主機都處於非用氣狀(zhuàng)態。   3.6 機械傳動部分   刀具(jù)塗層(céng)要求周邊必須厚度均勻一致,因此(cǐ),在塗層過程中須有三個(gè)轉動量才能滿足要求。即在要求大工件台轉動(I)的同時,小(xiǎo)的工件承載台也轉動( II),並且工件本身還能同時自轉(III)。   在機械設計上,一般是在大工件轉盤底部中央為(wéi)一大的主動齒輪,周(zhōu)圍(wéi)是一些小的星行輪與之齧合(hé),再用撥叉撥動工(gōng)件自轉。當(dāng)然,在做模具塗層時,一般(bān)有(yǒu)兩個轉動量就足夠了,但是齒輪可承載量必須(xū)大大增強(qiáng)。   3.7 加熱及測溫部分   做工模塗層的(de)時候,如何保證被鍍工件均勻加熱比裝飾(shì)塗   層加熱要重要得多(duō)。工模(mó)塗層設備一般(bān)均有前後兩個加熱器(qì),用熱電(diàn)偶測控溫度。但是,由於熱(rè)電偶(ǒu)裝夾的為置不同,因而,溫度讀數不(bú)可能是工件的真實(shí)溫度。要想測得(dé)工件的真(zhēn)實溫(wēn)度,有很多(duō)方法,這裏介紹一種簡便易(yì)行的表麵溫度計法 (Surface Thermomeer)。該溫度計的工作原(yuán)理是,當溫度計受熱,底部的彈簧(huáng)將受熱膨脹,使指針推動定位指針旋轉,直(zhí)到最高溫度。降(jiàng)溫的時候,彈簧收縮,指針反向旋轉,但定位指針維(wéi)持在最高溫度(dù)位置不動,開門後,讀取定位指針指示的溫度,即為(wéi)真(zhēn)空室內加熱時,表麵(miàn)溫(wēn)度計放置位置所曾達到的最(zuì)高溫度值。   3.8 離子蒸發及濺射源   多弧鍍(dù)的蒸(zhēng)發源一般為圓餅形,俗稱(chēng)圓餅靶(bǎ),近(jìn)幾年也出現了(le)長方形的多弧靶,但未見有明顯效果。圓(yuán)餅靶裝在銅靶座(陰(yīn)極(jí)座)上麵,兩者為羅(luó)紋連接。靶座中裝有磁鐵,通(tōng)過前後移動(dòng)磁鐵,改(gǎi)變磁(cí)場(chǎng)強(qiáng)度,可調整弧斑(bān)移動速度及軌跡。為了降低靶及靶座的溫度,要給靶座不斷通入冷卻水。為了(le)保證靶與靶座之間的高導電、導熱性,還可以在(zài)靶與靶座之間加錫(Sn)墊片。磁控濺射鍍膜一(yī)般采用長(zhǎng)方形或圓柱形靶材,   3.9 水冷係統   因為(wéi)工模塗(tú)層(céng)時,為了提高金屬原子(zǐ)的離化率,各個陰(yīn)極靶座都盡可能地采用大的功率輸出,需要充分冷卻;而且(qiě),工模塗層中的許多種塗層,加熱溫度為 400~500ºC,因此(cǐ),對真空室壁、對各個密封麵的冷卻也(yě)很重要(yào),所以冷卻水最好(hǎo)采用(yòng)18~20ºC 左右的冷水(shuǐ)機供水。為(wéi)了防止開門後,低溫的(de)真空室壁、陰極(jí)靶與熱的空氣接觸析出水珠,在開門前 10 分鍾左(zuǒ)右,水冷係統應有能力切換到供(gòng)熱水(shuǐ)狀態,熱水(shuǐ)溫度(dù)約為 40~45ºC。   4. 工模具PVD 的工作步驟   工模具 PVD 基本工藝流程可(kě)簡述(shù)為:IQC→前處理→PVD→FQC,分別(bié)介紹如後。   4.1 IQC   IQC(In Quality Control)的主要工作除了常規的清點數量   ,   檢(jiǎn)查圖(tú)紙與實物是否相符外,還須仔細檢查(chá)工件表麵,特別是刃口部位有無裂(liè)紋等缺陷(xiàn)。有時對於一些刀具、刀粒的刃口,在體(tǐ)式顯微鏡下觀察,更方便發現問題;另(lìng)外,IQC 的人(rén)員還要注意檢查待鍍膜件有無塑膠(jiāo)、低熔點(diǎn)的焊料等,這些東西如(rú)果因漏檢而混入鍍膜程序,則將在真空室內(nèi)嚴重放氣,輕者造成(chéng)整批產品脫塗層,重(chóng)者使原本 OK 的產品報廢,後果(guǒ)不堪設想。   4.2 前處(chù)理工藝(蒸汽槍、噴砂(shā)、拋光、清洗)   前處理的目的是淨化或粗化工件表麵(miàn)。淨化就是要(yào)去(qù)除各種表麵玷汙(wū)物,製備潔淨表麵。通常(cháng)使(shǐ)用各種淨化劑,借助機械(xiè)、物理或化學的方法進行淨化(huà)。   粗化與(yǔ)光蝕相反,其目的在於製備粗糙(cāo)的表麵以提(tí)高噴塗層或塗料裝飾的結構強度(dù)。我們現在已有的前處理主要方法為:高溫(wēn)蒸洗、清洗、噴砂、打磨、拋光等方法。   4.2.1   高溫蒸洗   目前,PVD 車間常用的高溫(wēn)蒸(zhēng)洗設備是蒸汽槍。它的最大工作溫(wēn)度可達 145?C,氣壓在 3~5 巴左右。由於模具中經常帶有一些細小孔(kǒng)、螺紋孔,孔內中常常有(yǒu)油汙、殘餘冷卻液等雜質,用常規清洗的方法難以除去。此時,高溫蒸洗設備便(biàn)可最大程(chéng)度的發揮(huī)它的優越性。   
4.2.2   清洗   各廠工模塗層前清洗程序大致(zhì)如下(xià):   1.超聲波除蠟→2.過水→3. 超聲波除油→4.過(guò)水→5. 超聲波(bō)自(zì)換→6.過水→7.過(guò)純水(shuǐ)→8.強風幹燥(zào)   具體實施時,與我們(men)所熟悉的裝飾塗層前的清洗又有許多不同(tóng)。這是因為裝飾塗層(céng)的底材大多為不(bú)鏽鋼或鈦(tài)合金,不容易生鏽。此外,裝(zhuāng)飾塗層對水印、點痣等缺陷是絕對不允許的。因此,裝飾(shì)塗層對純水的水質要求(qiú)極高,甚至要達到 15MΩ 以上。要保證(zhèng)清洗的高質量(liàng),可以(yǐ)通過反複清洗,並在(zài)高質量的純水加超聲波中長時間浸泡來得(dé)到。但是(shì),工模的清洗就不同,尤其是一些(xiē)熱做模具鋼,如果像裝飾塗層那樣去清洗,就會鏽得一塌糊塗。   由(yóu)於工模(mó)塗層的原始表麵狀態,除了一些高標準的鏡麵(miàn)模具以外,一般較裝飾(shì)塗層要粗糙,因而,對塗層後的表麵狀態的要求也不象裝飾(shì)塗層那樣高,這就允許我們采取(qǔ)快速過水,用幹燥、無油的壓縮空氣(qì)吹(chuī)幹,然後對工模強風幹燥的方法來處理。而(ér)那些高標準的鏡麵模具,一般均為(wéi)136 等不鏽鋼,可以借用裝飾塗層的清洗法。   總而言之,工模塗層前的清洗(xǐ)方法因工模(mó)所使用的(de)材料(liào)的不(bú)同而不同,因工模塗層前的表麵狀態的不同而不同,且不可(kě)千篇一律(lǜ)。下麵是幾種材料生鏽由難到易的排(pái)序,供參考:
不鏽鋼、硬質合(hé)金、金屬陶(táo)瓷合金、DC53、高速鋼、8407 有一種自動清洗機型號為 CR288,產自德國。該機一次最大   清洗(xǐ)量為 80KG,主要用於清洗刀具、小型零部件、或(huò)小尺(chǐ)寸的模具。它共有三個清洗缸(gāng),裏(lǐ)麵的溶液分別為自來水+清洗劑、自(zì)來水、去離子水。除(chú)了常見的超聲波、大水衝洗、噴淋、擺動、熱風幹燥等功能外,該機另外一個優點是最後設有抽真空步驟,可以(yǐ)使水(shuǐ)分盡快揮發掉。   自動清洗機內存十種工藝,均由供方預(yù)先設定(dìng)。一至九可分別用(yòng)於不同類型的(de)產品、不同的表麵狀態(tài)的淨化處(chù)理。第十種用於加注清洗劑。   4.2.3   噴砂   噴砂法(fǎ)是(shì)借助壓縮空氣使磨料強力衝刷工件表麵,從而去除鏽蝕、積碳、焊渣、氧化皮、殘鹽、舊漆層等(děng)表麵缺陷。按磨料使用條件,噴砂分為幹噴砂與濕噴砂兩類。   噴砂的工藝參數(shù)主(zhǔ)要有槍距、傾角、裝夾台旋(xuán)轉速度、移動速度、行程、往返次數、噴(pēn)砂時間、噴砂氣壓。我們已使用過的(de)參數有槍距:30~70mm; 傾角 30~70?C; 裝夾台(tái)旋轉速度(dù) 10~30;往返次數 3~9 次;噴砂氣壓(yā):1.8~3.5 巴等。具體(tǐ)操作時,根據工件表麵髒汙程度,工件硬度,工件表麵幾何形狀等因素,選取上下限。我們在(zài)幹噴砂機中所選用的磨料為玻璃珠,適合噴一些硬度介中(zhōng)的材料,如油(yóu)鋼、模具等;在液體噴砂機中所選用的磨料為氧化鋁,硬度較高,適合噴一些硬度(dù)高的材料,如硬(yìng)質合金材料。對於工模塗層而言,噴砂所(suǒ)使用的磨料粒度也很重(chóng)要。如果磨(mó)料粒度(dù)過大,則工件表麵太(tài)粗糙;如果磨料粒度太小,又會降低衝擊力度,甚至嵌在工件表(biǎo)麵,清洗難以去除,從而(ér)使工件(jiàn)塗層附著力降低(dī)。為此,歐洲一些國家,對工模塗層前噴砂   所用磨料(liào)粒度做過仔細研(yán)究,嚴格到必須保證 85%以上的晶粒度在中 A、B 兩點範(fàn)圍內才能使用。相比之下,我國磨料的(de)供應商(shāng)還缺乏這(zhè)方(fāng)麵的共識,我們也很少有做這方麵的檢驗。   4.3 PVD 塗(tú)層工藝(加熱、離子清洗、塗層、冷卻、工藝氣(qì)體、氣壓、溫度、濺(jiàn)射功率)   4.4 FQC   FQC 的英文全拚(pīn)為:“Function Quality Control”,意思是功能質量控製,它有別與一般意義上的 OQC(Out Quality Control) 。FQC 的內容(róng)主要包括外觀檢查、層深檢查、附著力檢(jiǎn)查、耐磨性檢查、抗蝕性檢查、模擬性測試等(děng)方法。我廠目(mù)前應用的主要有外觀檢查、層深檢查和附著力檢查。由於我(wǒ)們所接觸的產品大多都是不允許做破壞性檢查的,因而我們在鍍膜時,每批都會放(fàng)進隨批試樣。做層深檢查和附著力檢查的時候,大多數情況下,實(shí)際(jì)上是對隨批(pī)試樣進行檢查。因為試樣與產品在原材料、熱(rè)處理狀態、裝夾位置等方麵都難於一致,所以這樣檢測出的結果,與產品實際值會有一定的誤差。有時可能還會有相當大的誤差(chà),隻能做參考(kǎo)使(shǐ)用。當然,必要的時候(hòu),我們也可以通過製作模擬件,達到準確測(cè)量的目的(de)。  
 4.4.1   外觀檢
對於開門取件後的產品,應仔細檢查表麵有無裂紋、掉塗層、疏鬆等(děng)缺陷。對於刀具、刀粒,還(hái)需在顯微鏡下仔細檢查(chá)它們的刃口狀態。   4.4.2   層深檢查   層深檢查有切片金相觀察法、X-ray 檢查法、用單色光做(zuò)光源的(de)光(guāng)學測試法、球磨儀測(cè)試法等(děng)多種方法。工模塗層的層深檢(jiǎn)查是在球磨儀上進行的。方法是先用直徑為 10mm 的(de)鋼球與測試表麵滾磨,然後(hòu)在顯微鏡下(xià)測量磨痕的有關數據(jù),帶入公式中,即可方便算出層深。   這種層深檢查法的特點是:方便適用,誤差稍大。但這種誤差應用於工模上麵(miàn)影響不會(huì)太大。有興趣的同事還可參閱有關的說明書(shū)。附著力的(de)檢查方法有很多,各個廠根據自己(jǐ)產品的特點,都製定了相應的檢測方(fāng)法。其中,比較權威的方法有兩種(zhǒng),一種是在洛氏硬度計上,以圓錐型金剛石壓頭做壓痕試驗,在顯微鏡下(xià)觀察,以壓痕周邊裂(liè)紋的多少(shǎo)來判斷塗層附著力的(de)高低(dī)。該(gāi)方法(fǎ)對(duì)金剛石壓頭的形狀要求(qiú)很高,不但嚴格要求中心點在圓(yuán)的中心,而且金剛石圓錐的(de)圓度必須十分規則。遺憾的是,目前,我國還沒有它的國家或行業標準;另一種方法是劃痕法,我國(guó)有些塗層發起(qǐ)較早的科研部門(mén),也是(shì)采用的(de)該方法,有專門的國家(jiā)行(háng)業(yè)標準可供查詢。   5. 工裝夾具的處理   6. 塗後處理工藝(噴砂、塗脂技術,拋光(guāng)處理)   7. 檢測技(jì)術(結合力的檢測、層深(shēn)的檢測、酸蝕)   8. 塗層剝離技術(TiN/TiAlN 的剝離技術、CrN/DLC/CrAlTiN 的剝離技術、硬質合金的表麵塗層剝離技術(shù))   9.塗(tú)層刀具的應用技術(塗(tú)層的正確選擇、塗層刀具的正確使用   塗(tú)層對刀具的優化非常大,由於高速切削加工比傳統切削加工所產生的溫度要高(gāo),應用塗層,可以發(fā)揮其耐高溫、抗氧化及加(jiā)硬材質等作用。例(lì)如,氮化鉻(CrN)塗層可降低磨擦係數,改善光潔度及排屑情況 



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