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真空鍍膜機各部件以及原理分析

作(zuò)者: 來源: 日期:2020-03-16 9:52:53 人氣(qì):35532
真(zhēn)空鍍膜機的真空腔體----根據加工產品要求的差異,真空腔體大小也不一樣,目前應用比較(jiào)多的有直徑0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔體由(yóu)不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅(jiān)實,真空腔(qiāng)體各部分有鏈(liàn)接閥,用來鏈接各抽氣泵浦。

真空鍍膜機的(de)輔助抽氣係統:排氣係統為鍍膜真空(kōng)係統的重要(yào)組(zǔ)成部分,機械泵、增壓泵/羅茨泵、擴散泵三大部分(fèn)組成。這個排氣係統(tǒng)為:擴散泵+機械泵(bèng)+羅茨(cí)泵+低溫冷阱+polycold。排氣(qì)流程:機械泵先將真空腔(qiāng)抽至小於2.0*10-2PA左(zuǒ)右的低真空狀態,為擴散泵後續抽真(zhēn)空提供前提,之後當擴散(sàn)泵抽真空的時候,機械泵又配合油擴散(sàn)泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動作。

真空鍍膜機的機械原理(lǐ)以及其分類:
機(jī)械泵:也(yě)叫前級泵(bèng),機械(xiè)泵是應(yīng)用很廣的一種低真空泵,它(tā)是用油來保持密封效果並(bìng)依靠機械的方法不斷的(de)改變泵內吸氣空腔的(de)體積,使被抽容器內氣體體積不斷膨脹從而獲得真空。
一.機械泵的分類:機械泵(bèng)有很多種,常用的有滑閥式(主要用於大型設備),活塞往複式,定片式和旋片式(此目前運用(yòng)很廣)
二.機械(xiè)泵是(shì)從大氣開始工作的,它的主要參數有極限真空、抽氣速率、此為設計和選用機械泵的重要依據(jù),單級(jí)泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真(zhēn)空,雙級泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2PA,甚至更高(gāo)。抽氣(qì)速率是指旋片泵,按額定轉(zhuǎn)速運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積(jī),可用公(gōng)式計算(suàn):Sth=2nVs=2nfsL fs表(biǎo)示吸氣結束時空腔截麵積,L表示空腔長度,係數表示(shì)轉子每旋轉一周(zhōu)有兩次排(pái)氣過程,Vs表示當轉子處於水平(píng)位置的時候,吸(xī)氣結(jié)束,此時空腔內的體(tǐ)積較大,轉(zhuǎn)數為(wéi)n。機械泵排(pái)氣的效果還與電機的轉數(shù)以及皮帶的鬆緊度有關,當電機的皮帶比較鬆,電(diàn)機轉數很(hěn)慢的時候,機械泵(bèng)的排(pái)氣效果也會變差,所以要經常保養,點(diǎn)檢,機械泵的密封效果也需要(yào)經(jīng)常點檢,由過少,達(dá)不到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣(qì)和排氣,一般在油位(wèi)線下0.5厘米即可。
三.機械泵常常(cháng)被用來抽除幹燥的空氣,但(dàn)不能抽除含氧量過高(gāo)、有爆炸(zhà)和腐蝕(shí)性(xìng)的氣體,機械泵一般被用來抽除長久性的氣體,但是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣(qì)。旋葉泵(bèng)中起主要作用的部件是定子、轉子、彈(dàn)片等(děng),轉子在定子裏麵但與定子不同(tóng)心軸,像兩個內切(qiē)圓,轉子槽內(nèi)裝有兩片彈片,兩片彈片中(zhōng)間裝有彈簧(huáng),保證了彈片緊緊貼在(zài)定子的內壁。 
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