通俗（sú）的定義為在正常狀況下，其應用功能不會失效。

想要達到這個目的，一般而言這層薄膜必須具有堅牢的附著力、很低的內應（yīng）力、針孔密度很（hěn）少、夠強的機械性（xìng）能、均勻的膜厚、以及足（zú）夠的抗化學侵蝕性。

薄膜的特性主要受（shòu）到沉積過程、成膜條件、接口層的形成和基（jī）材的影響，隨後的熱處理亦扮（bàn）演重（chóng）要角色。 

沉積的（de）薄膜有（yǒu）內應力的存在，其來（lái）源為何? 

薄膜和基材之（zhī）間的晶（jīng）格失配（pèi） 

薄膜和基材之間的（de）熱膨脹係數差異 

晶界之（zhī）間的互擠