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膜厚的量測方(fāng)法有哪些

作者: 來源: 日期:2020-07-28 13:56:26 人氣:10170

膜厚的量測方法大致上可分為原位量測、離位量測兩類(lèi) 

原位星測係指鍍膜(mó)進(jìn)行中量測,普遍使用在物理氣相沉積,如微天平、光(guāng)學、電(diàn)阻量(liàng)測。

離位量測係指鍍膜完成後量測,對電鍍膜的行使較為普遍,具有了解電鍍效率的目的,如質量、剖(pōu)麵計、掃描式電子顯微鏡。

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