微信掃一掃 關注浦元最新動態！等離子（plasma）是除固體（tǐ）、液體、氣體之外的第四種物質狀態，主要是由氣體（tǐ）在高電磁場作用下發生解離，形成一種包括電子（帶負電），正離子（帶正電），自由基和中（zhōng）性氣（qì）體分子組成（chéng）的高活性物質，通產情況下會發光。
一般情況下，等離子中的正電荷（hé）數等於負電荷數，所以整體呈電中性（Quasi-neutral）。日（rì）常生活（huó）中見到的閃電、日光燈、霓虹燈（dēng）就是等離子體發光現象。
等離子的產生有很多種（zhǒng）方法，但（dàn）生成和（hé）維（wéi）持都需要外部能量的（de）輸入。
電子從外加電磁場獲（huò）得能量，然後發生非彈性碰撞產生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（ionization）、在結（jié）合（recombination）反應，由（yóu）此產（chǎn）生二次電子（zǐ）、原子、分子、離子等物質，然而在解離碰（pèng）撞中，電子可能與氣體離子有再結合作用，或者因為漂移及擴散（sàn）而離開（kāi）電磁場範圍等（děng）原因消失，因此當（dāng）電（diàn）子產生與消失的速率相（xiàng）等時，此時的（de）plasma即為穩定（dìng）狀態。這裏（lǐ）列舉四（sì）種ETCH常用產生plasma的方法，後麵會詳解介紹。
三、等離子（zǐ）體的參數（shù） plasma parameters
平均自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒子碰撞前能夠移動的平均距離（lí）。MFP與環境（jìng）壓力P呈反比，壓力（lì）越高，MFP越短（duǎn），壓力約低，MFP越長，這（zhè）就是為（wéi）什麽plasma產生要在低壓近似真空環境下產生，因為在大氣（qì）壓力下（760Torr），電（diàn）子的MFP很短，很難獲得足（zú）夠的能力來使（shǐ）用氣體離子化。