微信掃（sǎo）一（yī）掃 關注浦元最新動態！1. 電阻蒸發源（yuán）蒸鍍發（fā）
A. 加熱：高（gāo）熔點金（jīn）屬做成適當形狀蒸發源（yuán），電流通過直接加熱。
B. 優點：結構簡單、造（zào）價便宜、使用可靠
C. 缺點（diǎn）：所能到到的最高（gāo）溫度有限，加熱器壽命較短
D. 適合：熔點不太高（gāo），尤其對膜層質量要求不（bú）大高的大批量生產（chǎn）。
2. 電子束蒸（zhēng）發源蒸鍍發
A. 蒸發材料放入冷水鉗鍋中，利用電子束加（jiā）熱
B. 優點：獲得更大能量密度，使高熔點材料蒸發且速度快，膜的純度較高，熱效率高。
C. 分（fèn）類：環形槍，直槍，e型（xíng）槍和空心陰極槍等幾種。
D. 適合（hé）：高熔點，純度要求高的（de）材料。