低真空的獲得  

獲得低真空常采用機械（xiè）泵，機械泵是（shì）運用機械方法不斷地（dì）改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹，從而獲得（dé）真空的裝置。

它（tā）可以直接在大氣壓下開始工作，極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速及空腔體積V的大小（xiǎo）有關，一般（bān）在每（měi）秒幾升到每秒幾十升之間。

高真（zhēn）空的獲得 

目前，廣泛（fàn）使用的獲得高真（zhēn）空的泵就是擴散泵。擴散泵是利用氣體擴散現象（xiàng）來抽氣的，它不能直接在大氣壓（yā）下工作，而需要一定的（de）預備真空（kōng）度（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵（bèng）的極限真空度主要取決（jué）於油蒸汽壓和氣（qì）體分子的反擴散，一（yī）般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構相關，每秒幾升--幾百升不等。