質量流量計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量（liàng）的儀表，

其測量（liàng）值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控製器，即Mass flow controller(縮寫為MFC），不但具有質量流量計的功能，

更重要的是，它能自動控製氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，

即使（shǐ）係統壓力有（yǒu）波動或環境溫（wēn）度有變化，也不會使其偏（piān）離設定（dìng）值。

簡單地說，質量流量控（kòng）製器就是一個穩定裝置，是一個可以（yǐ）手動設（shè）定或（huò）與計算（suàn）機聯接自動控製的氣（qì）體（tǐ）穩流裝置。