對於真空鍍膜機設備的分類,到底了解多(duō)少(shǎo)?
真空(kōng)鍍膜(mó)機主要指一類需要(yào)在較高真空度下進行的(de)鍍膜設備,包括真空離子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、
MBE分子束外延鍍膜機和PLD激光濺射沉積鍍膜機等很多種。
主(zhǔ)要是分成蒸發和濺射兩種。
在真(zhēn)空鍍膜設備中需要鍍膜的被成為基片,鍍(dù)的(de)材料被成為靶材。
基片與靶材同在真空腔中。
蒸發鍍膜一(yī)般是加熱(rè)靶材使表麵組分以原子團或離子(zǐ)形式被蒸發出來,並且沉(chén)降在基片表麵,通過成膜過程形成薄膜。
真空鍍膜機對於濺射類鍍膜,可以簡單理解(jiě)為利用電子或高能激光轟擊靶材,並使表麵組分以原子團或離(lí)子形式被濺射出來,
並且(qiě)最終(zhōng)沉積在基片表麵,經曆成膜過(guò)程,最終形成(chéng)薄(báo)膜。爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或(huò)它們的組合(hé)製成的(de)雙層水冷結構。
根據工藝要求選擇不同(tóng)規(guī)格及類型鍍膜(mó)設備,其類(lèi)型有電阻蒸發真空鍍膜設備、電子(zǐ)束蒸發真(zhēn)空鍍膜設備、
磁控濺射(shè)真空鍍膜(mó)設備、離子鍍真空鍍(dù)膜設備、磁控(kòng)反應濺射真空鍍膜(mó)設備、空心陰極離子鍍和多弧離子鍍等。
夾具運轉形(xíng)式有自轉、公轉及公轉+自轉方式,用戶可根據片尺寸及形狀提(tí)出相應要求,轉動的速度範圍及轉動精度:普通可調及變頻調速等。