真空蒸鍍、濺鍍、離子鍍
真空鍍主要包(bāo)括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾(jǐ)種類型,它們都是采用在真空條件下,通過蒸餾(liú)或濺射等方(fāng)式在塑(sù)件表麵沉積各種金屬和非金屬薄膜(mó),通過這樣的方式可以得到非常薄的(de)表麵鍍層,同時具有(yǒu)速度快附著力好的突出優點,但是(shì)價格也較高,可以進行操作的金屬類型較少,一般(bān)用來作(zuò)較高檔(dàng)產品的功能性鍍(dù)層。
真空蒸鍍(dù)法是在高真(zhēn)空下為金屬加熱,使其(qí)熔融、蒸發,冷卻後在樣品表麵形成(chéng)金屬薄膜的方法(fǎ),鍍層厚度為0.8-1.2um。將成形品表麵的微小凹凸部分填(tián)平,以獲得如鏡麵一樣的表麵,無任是為了得(dé)到反射鏡作用而實施真空蒸鍍,還是對密接性(xìng)較低的奪鋼(gāng)進行真空蒸鍍時,都必須進行底麵塗布處理。
濺鍍通常指的是磁控濺鍍,屬於高速低溫濺鍍法。該(gāi)工藝要求真空度在1×10-3Torr左右(yòu),即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰性氣體氬氣(Ar),並在塑膠基材(陽極)和金屬靶(bǎ)材(陰極)之間(jiān)加上高(gāo)壓直流電,由於輝光放電(glow discharge)產生的電子激發惰(duò)性氣體,產生等離子體,等(děng)離子體將金屬靶材的原(yuán)子轟出,沉積在塑膠(jiāo)基材上(shàng)。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導(dǎo)電的陶磁材料則使(shǐ)用RF交流濺鍍。
離子鍍是在真空條件下,利用氣體放電使氣體或被(bèi)蒸發物質部分電(diàn)離,並在氣體離子或被蒸發物質離子的轟擊下,將蒸發物質或其反應物沉積在基(jī)片上的方法。其中包括磁控濺射離(lí)子鍍(dù)、反應離子鍍、空心陰極放電(diàn)離子(zǐ)鍍(空心陰極蒸鍍法)、多弧離子(zǐ)鍍(陰極電弧離子鍍)等。