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真空鍍膜機的原理和各部件分析

作者: 來源: 日期:2022-08-17 15:00:52 人氣:1766
真空鍍膜機的原(yuán)理和各部件分析
真空鍍膜(mó)機是目前製作真(zhēn)空條件應用最為廣泛的真空設備,一般用真空室(shì)、真空機(jī)組、電氣控製櫃三大部分(fèn)組成,排氣係(xì)統采用“擴散泵+機械泵+羅茨(cí)泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公司專業(yè)從事真空(kōng)鍍膜(mó)設備的研(yán)發與生產擁有經驗豐(fēng)富的技術團隊及(jí)優質的售後服務隊伍為您(nín)解決設備在使用過程中遇到的任何問題。下麵(miàn),詳細介紹真空鍍膜機的(de)各部(bù)分組成及其工作原理。
一、真空主體——真空腔根據加工(gōng)產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大(dà)小也不一樣,目前應用多(duō)的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製作,要求(qiú)不生(shēng)鏽、堅實等,真空腔各部分有連接(jiē)閥,用來連接各抽氣泵浦。
二、輔助(zhù)抽(chōu)氣係統 :排氣係統為鍍(dù)膜機真空係統的重要部分,主(zhǔ)要有(yǒu)由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組(zǔ)成。此排氣係統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排(pái)氣流程為:機械泵(bèng)先將真空(kōng)腔抽至小於2.0*10-2PA左右(yòu)的低真空狀態(tài),為擴散泵(bèng)後繼抽真(zhēn)空提供前提,之後當擴(kuò)散泵抽真(zhēn)空腔的時候,機械泵又配合油(yóu)擴散泵組(zǔ)成串聯,以這樣的方式完成(chéng)抽氣動(dòng)作。

機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用廣泛的一種(zhǒng)低真空泵,它是用油來(lái)保持密(mì)封效(xiào)果並依靠機械的方(fāng)法不(bú)斷的改(gǎi)變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
1.機械泵的分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此(cǐ)主要應用(yòng)於大型(xíng)設備)、活塞往(wǎng)複式、定片式和旋片式(此目前應用(yòng)最(zuì)廣泛,本文主要介紹)四種類型。
2.機械泵是從大氣開始工作的,它的(de)主要參數有極(jí)限真空,抽氣速率,此為設(shè)計與選用機械泵的重要(yào)依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將(jiāng)容器從大氣抽到(dào)6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率(lǜ),是(shì)指旋片泵按額定轉數運轉時,單位時間內所能排出氣體的(de)體積,可以用(yòng)下公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示(shì)吸氣結束時空腔截麵積,L表示空腔長度,係(xì)數表示轉子每旋轉一周有兩(liǎng)次排氣(qì)過程,Vs表示當轉子(zǐ)處(chù)於水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的體積大,轉速為n。機械泵排氣的效果(guǒ)還與(yǔ)電機的轉速及皮帶的鬆緊度有關係,當電機的皮(pí)帶比較鬆,電(diàn)機轉速很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經常保養,點檢(jiǎn),機械泵油的密封(fēng)效果也需要(yào)常常點檢,油(yóu)過少,達不到密封效果,泵(bèng)內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣(qì)和排氣(qì),一(yī)般,在油位在線下0.5厘米即可。
3.機械泵常常(cháng)被(bèi)用來(lái)抽除幹燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸(zhà)性和(hé)腐蝕性的氣體,機械泵一般被(bèi)用來抽除(chú)永久性的氣體,但是對水氣沒有好的效(xiào)果,所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定(dìng)子、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但與定子不同心軸(zhóu),象兩個內切(qiē)圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩彈片(piàn)中間(jiān)裝有彈簧,保證了(le)彈(dàn)片緊緊貼在定子的內壁。
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