真空鍍膜塗層膜厚測量方(fāng)式?
作者: 來源(yuán): 日期:2021-07-14 12:19:06 人(rén)氣:2536
我們日常生活中,很多生活物品都經過鍍膜機鍍上(shàng)了一層(céng)膜層,讓產品不僅變(biàn)得更美觀,也更實用。但是很多人會有一個疑問,那既然(rán)是鍍(dù)了一層膜層,薄膜肯定是有厚度(dù)大小的,那麽薄膜厚度具體多厚呢,以及怎麽(me)去測量?
薄膜必須沉積在基底之上, 所以離開了基片也就無從談薄膜沉積的問題。基(jī)片的清洗好壞又對薄膜的質(zhì)最有(yǒu)極共重要的影響。同時在薄膜的製作中還必須知道薄膜的厚度(dù),脫離了薄膜的厚(hòu)度來談薄膜性質的測最也是亳無意(yì)義的。 所以, 膜厚的測量和(hé)基片的清洗可以說是和薄膜製作相關的重要技術。一般所(suǒ)謂的厚度是指兩個完全平整的(de)平行平麵(miàn)之間的距離,這個概念(niàn)是一(yī)個幾(jǐ)何概念(niàn)。
理想的薄膜厚度是指基片表麵和薄膜表麵之間(jiān)的距離。在薄膜形貌的三維度量中,相對於薄膜的厚度來講,其(qí)他兩維的度量可以說是無(wú)窮大。由於實際上存在的表麵是不平整和不連續的,而且薄膜的內部(bù)還可(kě)能(néng)存在著氣孔(kǒng)、雜(zá)質、晶格缺陷和表麵吸附分子等(děng)等(děng),所有(yǒu)要嚴格地定義和精確(què)地測量(liàng)薄膜的厚度實際上是很困難的。
膜(mó)厚的定義位當根據測址的方法和(hé)測址(zhǐ)的目的決定。 因此(cǐ),同一個薄膜,使用不同的測量方法會得到不同的結果, 即不同的厚度。
在薄膜油測量(liàng)中的表麵並(bìng)不是一個幾何的概念,而是一個 物埋概念,是指表麵分子(原子)的集合。 平均表麵是指表麵(miàn)原子所有的點到這個麵(miàn)的距離代數和等於零, 平均表麵是一個兒何概念。
我們通常將基片的一側的表麵分(fèn)子的集合的平均表麵稱為基片(piàn)表麵;薄膜上不和基片接觸的那一側的表(biǎo)麵的(de)平(píng)均表麵稱為薄膜的形(xíng)狀表麵,將所測量的薄(báo)膜原子重新排列(liè),使其(qí)密度和大塊狀固體(tǐ)材料完全一(yī)樣且均勻的分布在基片表麵上,這時平均表麵稱為薄膜質量等價表麵;根據所測量薄膜的物理性質等(děng)效為一種長(zhǎng)度和(hé)寬度與所測量的薄膜一樣的(de)大塊固體材料的薄膜,這時的平均表麵(miàn)稱為薄膜物性等價表麵。 形(xíng)狀膜厚是比較接近於直觀形式的膜厚, 通常以(yǐ)µm為單位; 質量膜厚(hòu)反映(yìng)了薄膜中包含物質為(wéi)多少,通常 以(yǐ) µg/cm#8217;為單位, 物性膜厚在實際使用上(shàng)較有用, 而且比較容易測量。
由於實際表麵並不平整,同時薄膜製作過程中又不可避(bì)免地要有各種缺陷、 雜質和吸附分子等存在,所以不管用哪(nǎ) 一種方法來(lái)定義和測量(liàng)膜厚,都是一個(gè)平均值(zhí),而且(qiě)足包括了雜質、缺陷(xiàn)以及吸附分子在內的薄(báo)膜的厚度值。
真空鍍膜機鍍膜是在真空腔體下進行鍍膜的,對(duì)於測(cè)量膜厚度來說,是需要這(zhè)方麵專業的測量(liàng)儀才(cái)能測出厚度大小。