如何掌(zhǎng)控真空鍍膜的均勻性
作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2553
如何掌控真空(kōng)鍍膜的均(jun1)勻性
我們先來認(rèn)識下怎麽(me)調試鍍膜機(jī),因為掌握調試鍍膜機是使用鍍膜機的關鍵(jiàn)怎(zěn)麽調試鍍膜機(jī)
1、測(cè)試設(shè)備的(de)抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣情況與各真空泵的性能;
2、測(cè)試設備的密封性能,就是抽到極限後保壓1小時看壓降是否達(dá)標,同時排除細小的漏(lòu)孔;
3、產品試作,檢驗其(qí)他(tā)的性能,比如傳(chuán)動、加熱、絕緣(yuán)等等;
4、如果有(yǒu)工藝保證的話就繼續(xù)打樣並(bìng)作測(cè)試(shì)。
5、所有的測試應作記錄,並有記錄(lù)人簽字以及有使用部門(mén)或(huò)工程(chéng)部門的人確認簽字
怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜(mó)機原理的不同分為很多種類,僅僅因為都需要高真空度而擁有統(tǒng)一名稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。並且均勻性這個概念本身也會隨(suí)著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義,下麵分別說一下:
均勻性主要體現在3方麵:
1、厚度上的均勻性,也(yě)可(kě)以理(lǐ)解為粗糙度,在光學薄膜(mó)的尺度上看(也就是1/10波長作為單位(wèi),約為100A),真空鍍膜的均勻(yún)性已經相當好,可以輕鬆將粗糙度控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子鍍膜機的光學特性來(lái)說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是(shì)指原子層尺度上的均勻度(dù),也就是說要實現10A甚至1A的表麵平整,是現(xiàn)在真空(kōng)鍍膜中主要(yào)的技術含量與技術瓶頸(jǐng)所在。
2、化學組分上(shàng)的均(jun1)勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由於(yú)尺度過小(xiǎo)而很容易的產生不均勻特性(xìng),SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機過程(chéng)不科學,那麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成分(fèn),這(zhè)也是真空鍍膜(mó)的(de)技術(shù)含量所在。
3、晶格有(yǒu)序度的均勻性(xìng):這決(jué)定了薄膜是單晶,多晶,非(fēi)晶,是真空鍍膜技術中的(de)熱點問題。
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