1)、固定筒3 圓筒形狀、大(dà)直徑(jìng)、厚壁結構的設計和周向對稱的固定方式(shì),可保證其有足夠的強度和剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部(bù)件汙染,保證(zhèng)撥動盤15 轉動的靈活性。
2)、圓形軸承座2 的設計,保(bǎo)證軸承座安裝的(de)密封性和垂(chuí)直度;增大軸1 的直徑尺寸,加大軸(zhóu)承(chéng)座2 中兩軸(zhóu)承的安裝間距,提高其(qí)自身的強度和剛度,保證(zhèng)轉動過程(chéng)中軸1 的剛度和撥動盤(pán)15的旋轉靈活性、位置重複(fù)的一致性。
3)、裝載(zǎi)換位機構,通過擴大支承盤(pán)16 的直徑,使該機構在平麵方向的有效麵積增大,可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調整(zhěng),提高光學薄膜質量;比較片12 由單片玻璃作為一個比較片單元,比較片采用空間立體疊加安裝方式,多片(piàn)玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內,實現一次(cì)可放置50~100 片比較片(piàn),解決
鍍膜機鍍製多層精密光學薄膜(mó),比較片數量少(shǎo)影響鍍膜層數(shù)和精度(dù)的問(wèn)題。
4)、定位盤6 與槽型光(guāng)藕17 的配合,通過槽型光藕來感知定位盤上(shàng)三個均分的120°狹縫,控製電機轉動停(tíng)止。軸1 旋轉定位重複的一致(zhì)性得到保證,帶動撥動(dòng)盤15 完成準確的撥片動作。
5)、 轉動密(mì)封饋入機構引入威爾遜密封機構(gòu)5,既保證電機9 通過齒輪齧合帶動軸1 的靈活轉動,又保(bǎo)證真空室對外部的密封作用。優(yōu)化設計的真空鍍膜(mó)機多片式比(bǐ)較片裝置,其特點:(1)結構簡單,強度高,可靠性好;(2)比較片裝載數量大,生產效率提高,可鍍製超多(duō)層(céng)精密(mì)光學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監(jiān)控(kòng)的精度(dù),降低對硬件係統的要求,係統容易實現自動控製;(4)維護保養(yǎng)費用低。
通過對真空鍍膜機多(duō)片式比較片(piàn)裝置的優化設計,保證了比較片(piàn)機構(gòu)撥片(piàn)轉動的靈活(huó)性和重複的一致性,解決了比較片有效麵(miàn)積小,光路(lù)調整(zhěng)不方便,光信號(hào)信噪比(bǐ)差(chà)的問題,又解決了比較片(piàn)裝載數量少的(de)問題,可以使現有(yǒu)的真空鍍膜(mó)機鍍製(zhì)光學薄膜的(de)質量大大提高,並且30 層以上的光學(xué)薄膜得以鍍製完成(chéng)。實踐證明(míng)此(cǐ)比較片結構是有用的,可以在現代的光學真空鍍(dù)膜行業進行推廣和實施,