工作原理(lǐ)
WJZ係列(liè)無介質獨立膜電(diàn)阻蒸發真空鍍膜機的原理(lǐ)是在真空室中將金屬材料(鋁、鎳、錫(xī)等)利用電阻蒸發技術將材料汽化,汽化後(hòu)的金屬分子(zǐ)產生飛逸沉積於(yú)基材的表麵上形(xíng)成鋁、錫等(děng)純金屬薄膜層,出爐後將膜層從(cóng)特別的基材表麵可輕輕剝落,形成無介質獨立性的厚度為2-3μm,具有(yǒu)一定彈性、能夠(gòu)隔離氣體和光線的薄膜。
應用範圍
產品(pǐn)特(tè)點
技術參(cān)數表
WJZ係列無介質獨立(lì)膜電阻蒸發真空鍍膜機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真(zhēn)空(kōng)室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴散泵(bèng)機組 | KT400擴散泵機(jī)組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電阻蒸發源+圓柱磁控多(duō)弧(可選配) | ||||||
鍍膜輔助係統 | 低溫離子鍍膜電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計(jì) |
控製方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具(jù)體均按客戶實際工藝要求(qiú)設計訂做 |