工作原理
應用範圍
產品特點
技術參數表
HL係列多弧離(lí)子(zǐ)真(zhēn)空鍍膜機 | |||||||
型號 | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真空室尺(chǐ)寸(cùn) | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組(zǔ) | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴(kuò)散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 專用(yòng)多弧鍍膜(mó)電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(bǎ)(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統(tǒng) | 低溫離子輔助源(除工具鍍外(wài)無需加溫(wēn)係統) | ||||||
充氣(qì)係統 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
抽(chōu)氣(qì)速率(lǜ) | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設(shè)備參(cān)數僅做參考,具體均按客戶實際工(gōng)藝要求設計訂做 |