超大型板材管材真空鍍膜機(jī)

日期:2016-01-13 10:16:58 人氣:24884
超大型板材管材真空鍍膜(mó)機

工作原理

離子(zǐ)鍍是真空室中,利用氣體放電或被蒸發物質部分離化(huà),在(zài)氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同(tóng)時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者(zhě)有機結合起來,不(bú)僅能明(míng)顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜(mó)的應用範圍。其優點是薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣(guǎng)泛等。多弧離子鍍與一般的離子鍍有著(zhe)很大的區別。多弧離(lí)子鍍采用的是弧光放電,而並不是傳統離(lí)子鍍的輝光放電進行沉(chén)積。簡單的(de)說,多弧離子鍍的(de)原理就是(shì)把陰極靶作為蒸發源,通過靶與陽(yáng)極殼體之(zhī)間的弧光放電,使靶材(cái)蒸發,從而在空間中形成等離子體,對基體進行沉(chén)積。

應用範圍

可以鍍製(zhì)不鏽鋼(gāng)、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍製合金膜或化合物,如TiN\TiAlN\CrN膜等,臥式多弧離子鍍膜機主(zhǔ)要針(zhēn)對大麵積五金工件鍍裝飾膜或者(zhě)功能膜,適合於在(zài)不鏽鋼板、不鏽鋼管、不鏽鋼門等工(gōng)件表麵鍍膜。

產品特(tè)點

1)、此類設備真空室最大尺寸能實現 φ5000X10000MM(長)
2)、是在大型板材、管材(cái)上鍍製各(gè)類裝飾膜層(céng)及功能(néng)膜膜層的適合設備。

技術參數表

HLB係列大型板材管材真空鍍膜機(jī)     
型號HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空機組雙KT800擴散泵機組雙KT1000擴散泵機(jī)組雙KT1000擴散泵(bèng)機組(zǔ)*2套雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套(tào)雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴(kuò)散(sàn)泵機組*4套
鍍膜係統專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形(xíng)弧靶(可選配)
輔(fǔ)助鍍膜(mó)係統低溫離子(zǐ)輔助源(除工具(jù)鍍外無需加溫係統)
充氣係統質量流量計
控製方式手動或全自動
抽氣(qì)速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空(kōng)5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備注以上(shàng)設備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計(jì)訂(dìng)做(zuò)
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