工作原理
應(yīng)用範圍
產品(pǐn)特點
技術參數表
ZFW係列臥式(shì)電阻(zǔ)蒸(zhēng)發真空鍍膜(mó)機 | |||||||
型號(hào) | ZFW-600 | ZFW-1400 | ZFW-1600 | ZFW-1800 | ZFW-2000 | ZFW-4000 | ZFW-5000 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM | Φ2000×3000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組 | KT500擴散泵機組(zǔ) | 雙KT6300擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT800擴散泵(bèng)機組 | 雙(shuāng)KT1000擴散(sàn)泵(bèng)機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散(sàn)泵機組*4套 |
鍍膜係統 | 電阻蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流(liú)量計 | ||||||
控製方(fāng)式 | 手(shǒu)動或全自動 | ||||||
抽氣(qì)速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數(shù)僅做參(cān)考(kǎo),具體均按客戶實際工藝要求設(shè)計訂做,可選擇保護膜鍍膜功能 |