工作原理
WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸(zhēng)發真空鍍(dù)膜機的原理是在真空室中(zhōng)將金屬材料(鋁、鎳、錫等)利用電阻蒸發技術將(jiāng)材料(liào)汽化(huà),汽化後的金屬(shǔ)分子產生飛逸沉積於基材的(de)表麵上形成鋁(lǚ)、錫等純金屬薄膜層,出爐後將膜層從特別的基材表麵可輕輕(qīng)剝落,形成無介質獨立(lì)性的厚度為2-3μm,具有一定彈(dàn)性、能夠隔離氣體和光線的薄膜。
應用範圍
產品特點
技術參數表
WJZ係列無介(jiè)質獨立(lì)膜電阻蒸發真空鍍膜機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空(kōng)室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴散泵機組 | KT400擴散泵(bèng)機組 | KT500擴(kuò)散泵(bèng)機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT800擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電阻蒸發源+圓柱磁(cí)控多弧(可選配) | ||||||
鍍膜輔助(zhù)係統 | 低溫離子鍍膜電源 | ||||||
充氣係(xì)統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極(jí)限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂(dìng)做 |