電阻真空計(jì)(又叫皮喇尼真空計):
它主要由電熱絲、外殼和(hé)支架構成,主要是根據在低壓下(xià),氣體的熱(rè)傳導係數(shù)與壓強成正比(bǐ)的方式工作的。上麵開口處與被測真空係統(tǒng)相連(lián)接,熱絲采用電阻(zǔ)溫度係數大的金屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連接。當壓強降低的時候,由於氣體熱傳導散失的熱量減小,因此(cǐ)當熱絲加熱電(diàn)流穩定時候,則熱絲溫(wēn)度就上升,熱絲的電(diàn)阻就增大,用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強。
磁控放電真空計: 工作原理:在放電開始時,由於空間遊離電(diàn)子(zǐ)向(xiàng)陽極運動時(shí),在正交電磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線(xiàn)前進,又(yòu)因為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰(pèng)上陽極,而(ér)是穿(chuān)過陽極,然後受到對麵陰(yīn)極的(de)拒(jù)斥,又(yòu)複返回。這樣反複(fù)多次才可能打上陽極。由於電子路程大(dà)大加長,故碰撞及電離的分子數增加,使得在較低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱(chēng)潘寧放電)。
目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY
放電管真空計:
在玻璃管中封(fēng)入兩個金屬電極,在其(qí)上加(jiā)上數千伏的直流高電壓,在一定的壓(yā)強範圍內(1*10-3~2*10托)內(nèi)就能引起自持放(fàng)電,通過放電顏色來判定其真空度 。 目前為止此種真空計已經很(hěn)少使用,因為其誤差(chà)大,容易損壞(huài),而且壽命不長(zhǎng)。
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