隨著科技的發展，真空（kōng）鍍膜工藝技術已經在：太陽能集熱管、太（tài）陽能電池、磁帶、光盤、半導（dǎo）體器件、光學器件、光電顯示器件（jiàn）、玻璃、工模具和切削刀具（jù）的超硬塗層、汽輪機葉片的抗熱塗層、五金製品、手（shǒu）表、手機和眼鏡的裝飾、塑料製（zhì）品金屬（shǔ）化、包裝用塑料薄膜等多個領域廣泛應用。

真空鍍膜設備有多種規格的單室機和多室連（lián）續機。工藝方法上可分（fèn）為：真空蒸鍍、離子鍍、濺射鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。真空鍍膜設備的運行性能直接影響生產工藝、產品（pǐn）質量和生產，為了使設備的運行性能正常，必須建立和完善設備的；維護與維修製（zhì）度、維護內容、維（wéi）修標準等。

一（yī）、維護與維修製度，為了使真空鍍膜設備在（zài）維（wéi）護、維修及生產過程中出現問題能得（dé）到及時收集、傳遞、分析和處理. 而製定的管理製度。

1.有完善的（de）製度,如（rú）設備（bèi）的使用操作規程。維修人員在維修時（shí）應掛放“正在維修”牌，並（bìng）切斷電源以防他人使用機器設備等.

2.在工廠生產管（guǎn）理中,設備的維護與維修是重要的一方麵。應該有專職的、能力強的維修人員負責。

二、設備的維護，維護可分為：日常（cháng）維護（hù）和（hé）定期維護。

1.日（rì）常維護就是在當（dāng）天生產中發現設備有不良跡（jì）象，就馬上解決。發現機械泵（bèng）的油少（shǎo）了就要添加，不要認為這油是定期更換的，等到了時間在維護，可能泵的轉子就會磨損嚴（yán）重（chóng）了（le）。再比如工件轉架的軸承（chéng）有些卡，就要更（gèng）換（huàn）軸（zhóu）承，而等到它徹底的壞（huài）了再換，問題可就大了，可能引起（qǐ）轉架電（diàn）機燒毀等。

2.定期維護，有人會問（wèn）有了日常維護（hù）還有必要定（dìng）期維護嗎？其（qí）實每一種（zhǒng）設備（bèi）都有自己使用壽命，比如擴散泵用的矽油使用壽命（mìng）為2年左右，我（wǒ）就規定1年半就把它換（huàn）掉，這樣做是不是（shì）浪費，我（wǒ）覺的不浪費，從設備服務於生產來說是值得的，老板最不希望看到的是機器在生產階段出現問題。隻要你把日常維護和定期維護做好（hǎo）了，在（zài）延長設備壽命的同時，生產（chǎn）過程中出現故障的（de）幾率也（yě）大大降低，生產效率也（yě）提高了（le）。

三、設備維修：說到維修很多人都頭疼（téng）的是真空部分的漏氣，真空部分出了問題比較麻煩，再加上很多公司沒有檢漏儀，這就要（yào）分（fèn）階段來找。真空抽不上去原因可能有以下幾點：

1.也（yě）許（xǔ）是漏率偏高就是我們常說的有漏氣；

2.也許（xǔ）是真空機（jī）組的抽氣能（néng）力不（bú）夠了，油被汙染或氧化了；

3.也許是真空室內太髒放氣。

或者（zhě）是這幾種可能都有。出現問題，首先是要判斷，是不是拆裝過東西？會不（bú）會（huì）漏（lòu）水？閥門打開了嗎？根據現象判斷原因，然後再（zài）去根據判斷找問（wèn）題，可能會收（shōu）到事半功倍的效果。有次我們清洗弧蒸發源，清洗完裝上一試抽真空比以前慢了，就懷疑是弧蒸發源漏氣，後來經過檢查是（shì）弧蒸發源的一個密封圈本來是要更換的（de），在裝配時認為還可（kě）以就沒有更換，結果（guǒ）就造成了漏氣。