微信掃一掃 關注浦元最新動態！ 真空鍍膜機是目前製作（zuò）真空條件應用最為廣泛的真空設備，一般用真空室、真（zhēn）空機組、電（diàn）氣控製櫃三大部分組成，排（pái）氣（qì）係統采用擴散泵+機械（xiè）泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold組成。
下麵，詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作（zuò）原理：
1、真空主體：真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大（dà）小也不一樣，目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔（qiāng）體由不鏽（xiù）鋼材料製作，要求不生鏽、堅實等，真空腔各部分有（yǒu）連接閥，用來連接各抽氣泵浦。
2、輔（fǔ）助抽氣係統：排氣係統為鍍膜機（jī）真空係（xì）統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵（bèng））、油擴散（sàn）泵三大部（bù）分組成。此排氣係（xì）統采用"擴散泵+機械泵＋羅茨（cí）泵＋低溫冷阱＋polycold"組成（chéng）。排氣流程（chéng）為（wéi）：機械泵先將（jiāng）真（zhēn）空腔抽至小（xiǎo）於（yú）2.0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵後繼抽真空提供前（qián）提，之（zhī）後當擴散泵抽真空腔（qiāng）的時候，機械（xiè）泵又配（pèi）合油擴散泵（bèng）組（zǔ）成串聯，以這樣的（de）方式完（wán）成抽氣動作。
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