真空鍍膜機是目前製作真（zhēn）空條件應用最為（wéi）廣（guǎng）泛的真空設備，一般（bān）用真空室、真空機組、電氣控製櫃三大工作原理。

真空主題--真空（kōng）腔根據加工產品要求的各異（yì），真空腔的大小也不（bú）一樣（yàng），目前應用最多（duō）的有直徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼材料製作，要求不生鏽、堅實等，真空腔各（gè）部分（fèn）有鏈接閥，用來鏈接各（gè）抽氣（qì）泵浦（pǔ）。

輔助抽氣係統：排氣係（xì）統為鍍膜（mó）機（jī）真空係統的重要部分，主要有由（yóu）機械泵、增壓泵（bèng）（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成，此排氣係統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成（chéng）”。

排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴散泵後（hòu）續抽真空提供前提，之後（hòu）當擴散泵抽真空的時候，機（jī）械泵又配合油擴散泵組成（chéng）串聯，已這樣的（de）方式完成抽氣動作。

 機械泵：也叫前級泵，機械泵是（shì）應用最廣泛的一種低（dī）真空泵，它是用油來保持密封效（xiào）果（guǒ）並依靠機械的方法不斷的（de）改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內（nèi）氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。