浦元真空帶你(nǐ)了解真空蒸(zhēng)發鍍(dù)膜法的概念:
1.基本原理:真空蒸發鍍膜法(簡稱真空蒸鍍)是在真空室中加熱蒸發容器中待形成薄膜的原(yuán)材料使(shǐ)其原子或分子從表麵氣化逸出,形成蒸汽流入射到固體(稱為(wéi)襯(chèn)底或基片)表麵凝結形成固態薄膜的方法。
2.真空蒸鍍時尤其是(shì)對真(zhēn)空環境的要求(qiú)更嚴格其原因有:
A.防止在高溫下因(yīn)空氣分(fèn)子和蒸發源發生(shēng)反應;
B.防止因蒸發物質的(de)分子在鍍膜室內與空氣分子碰撞(zhuàng);
C.防止空氣分子作為雜質混入膜內或者在(zài)薄膜中形成化合(hé)物;
3.設備:真空鍍膜室和(hé)真空抽氣係(xì)統兩大部分組(zǔ)成。真空鍍膜室內裝有蒸發源、被蒸鍍材料、基片支(zhī)架及(jí)基片等。