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磁控濺(jiàn)射膜厚(hòu)均(jun1)勻性設計方法

作者: 來源(yuán): 日期:2020-11-09 10:56:38 人氣:21132

磁控濺射鍍膜是現代工業中不可缺少的技術之一(yī),磁控濺射鍍膜技(jì)術(shù)正廣(guǎng)泛應用(yòng)於透明(míng)導電膜(mó)、光學膜、超硬膜、

抗腐(fǔ)蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種裝飾膜,在國防和國民(mín)經濟生產中(zhōng)的作用和地位日益強大。


鍍膜工藝中的(de)薄膜厚度均勻性(xìng),沉積速率,靶材利用率等方麵的問題(tí)是實際生產中十分關注的。
解(jiě)決這些實(shí)際問題的方法是(shì)對涉及濺射沉積過程的全部因素進行(háng)整體的優化設計,建立一個濺射鍍膜的綜合設計係統。
薄膜厚度均勻性是檢驗濺(jiàn)射沉積過程的最重要(yào)參數之(zhī)一(yī),因此對膜(mó)厚均勻性綜合設(shè)計的研究具有重要的理論和應用價值。

磁控濺射技術發展(zhǎn)過程中各項(xiàng)技術的突(tū)破一般集(jí)中在等離子體的產(chǎn)生(shēng)以及對等離子體進行(háng)的控製等方麵。

通(tōng)過對電磁場、溫度(dù)場和空間不(bú)同(tóng)種類粒子分布參數的控製,使膜層質量和屬性滿足各行業的(de)要求。


膜厚均勻性與磁控濺射靶的工作狀態(tài)息息相關,如靶的刻蝕狀態,靶的(de)電磁場設計等,

因此,為保證膜厚均勻性,國外的薄膜製備公司或鍍膜設(shè)備製造公司都有各自的關於鍍膜設備(包括核心部(bù)件“靶”)的(de)整套設計方案。

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