氣體的分布狀況對於平板基片鍍膜來（lái）說是極其重要的（de），通過機械結構設計（jì），使氣體密度的變化（huà）率在濺射沉積區域內（nèi）的盡量小。

而在區域外，使係（xì）統的流（liú）導盡量的大，以提高氣體（tǐ）的利用率和抽氣係統的效率。

控製氣體分（fèn）布的（de）機械部件或結（jié）構包括布氣係統、真空室（shì）的結構、抽氣係統等三個部分。