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鍍膜工藝設計(jì)

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣(qì):12104

鍍膜工藝之設計應著重(chóng)考慮不同薄膜材料之間需要(yào)不同的沉積工(gōng)藝,

不同濺(jiàn)射技術的實施(直流、中頻、射頻、脈衝、反應濺射,以及它們之間的結合而發展的(de)技(jì)術,或者新技(jì)術的應用等),

同種技術不同工藝參數的調整(功(gōng)率,氣壓,沉積方式等),前處理(清洗、預熱等),後處理(熱處(chù)理等)。

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