SF係列電子(zǐ)束蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24998
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

電子(zǐ)束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用(yòng)電子束加熱,使膜材中的原(yuán)子或分子從表麵汽化逸出後入射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,製成(chéng)的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可(kě)鍍製層數較多的短波通、長波(bō)通、增透膜、反射膜、濾光(guāng)膜、分光(guāng)膜、帶通膜、介(jiè)質膜、高(gāo)反膜、彩色反射膜等各種膜係(xì),能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜(mó),也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭(tóu)、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不(bú)同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配(pèi)備有石英晶體膜(mó)厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過程的自動控製,工作效率和產品質量重複性一致性優良.
2)適用於光學領域行業,大(dà)規模工業生產要求(qiú)的廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空(kōng)室尺寸(cùn) Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真(zhēn)空(kōng)機(jī)組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵(bèng)機組KT500擴散泵機組(zǔ)KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源(yuán)、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾(ěr)離子源
充氣係統壓強控製儀(yí)
控製方式手(shǒu)動(dòng)或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係統(tǒng)
抽(chōu)氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極(jí)限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以(yǐ)上設備參數僅做參(cān)考,具體均按客戶實際工藝要(yào)求設計訂做
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