CJ係列磁控濺射真空鍍(dù)膜機
日(rì)期:2016-01-16 13:28:37 人氣:81708
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工(gōng)作原理,所謂“濺射”就是用荷能(néng)粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中(zhōng)逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電(diàn)場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱(zhù)靶。電子在(zài)電場作(zuò)用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時(shí),則電離出Ar+並(bìng)產生電子,電子飛向基片,Ar+在電(diàn)場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能(néng)量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於(yú)家電電器、鍾(zhōng)表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及(jí)儀(yí)器(qì)儀(yí)表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜(mó)及工模具的功(gōng)能塗層,在鍍(dù)製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等(děng)領域有優勢(shì)。
1)、膜厚可控性(xìng)和重複(fù)性(xìng)好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄(báo)膜,並且濺(jiàn)射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分(fèn)高(gāo)能量(liàng)的濺射原子產生不同(tóng)程度(dù)的注入現象,在基片上形成一層濺射(shè)原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊(shū)材料的(de)薄膜,可以使用不(bú)同的(de)材料同時濺射製備混合膜、化合(hé)膜(mó),還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度(dù)高,濺(jiàn)射(shè)膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔(fǔ)助源,無需(xū)加熱直接常(cháng)溫冷鍍成膜,節能省電(diàn),提高產能。
CJ係(xì)列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真(zhēn)空(kōng)室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散(sàn)泵機組 | KT500擴散泵機組(zǔ) | KT800擴散泵機(jī)組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散(sàn)泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或中(zhōng)頻(pín)電源、鍍膜(mó)輔(fǔ)助離子(zǐ)專用電源 |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 |
控(kòng)製(zhì)方(fāng)式 | 手動或全自(zì)動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上(shàng)設備參數僅做參考,具體(tǐ)均(jun1)按(àn)客戶實際工藝要求設計訂做(zuò) |