CJ係列磁控濺射真空鍍(dù)膜機

日(rì)期:2016-01-16 13:28:37 人氣:81708

CJ係列磁控(kòng)濺射真(zhēn)空鍍膜機

工作(zuò)原理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工(gōng)作原理,所謂“濺射”就是用荷能(néng)粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中(zhōng)逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電(diàn)場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱(zhù)靶。電子在(zài)電場作(zuò)用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時(shí),則電離出Ar+並(bìng)產生電子,電子飛向基片,Ar+在電(diàn)場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能(néng)量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。 

應用範圍

廣泛應用於(yú)家電電器、鍾(zhōng)表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及(jí)儀(yí)器(qì)儀(yí)表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜(mó)及工模具的功(gōng)能塗層,在鍍(dù)製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等(děng)領域有優勢(shì)。

產品(pǐn)特點

1)、膜厚可控性(xìng)和重複(fù)性(xìng)好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄(báo)膜,並且濺(jiàn)射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分(fèn)高(gāo)能量(liàng)的濺射原子產生不同(tóng)程度(dù)的注入現象,在基片上形成一層濺射(shè)原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊(shū)材料的(de)薄膜,可以使用不(bú)同的(de)材料同時濺射製備混合膜、化合(hé)膜(mó),還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度(dù)高,濺(jiàn)射(shè)膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔(fǔ)助源,無需(xū)加熱直接常(cháng)溫冷鍍成膜,節能省電(diàn),提高產能。

技術參數表(biǎo)

CJ係(xì)列磁控濺射真空鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真(zhēn)空(kōng)室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散(sàn)泵機組KT500擴散泵機組(zǔ)KT800擴散泵機(jī)組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴(kuò)散(sàn)泵機組
鍍膜係統直流或中(zhōng)頻(pín)電源、鍍膜(mó)輔(fǔ)助離子(zǐ)專用電源
充氣係統質量流量計質量(liàng)流量計質量流量計質量(liàng)流量計質量流量計質(zhì)量流量計質量流量計
控(kòng)製(zhì)方(fāng)式手動或全自(zì)動手(shǒu)動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上(shàng)設備參數僅做參考,具體(tǐ)均(jun1)按(àn)客戶實際工藝要求設計訂做(zuò)
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