當前位置(zhì):首頁|CJHL係列磁控多(duō)弧真空鍍膜機
工作原理
應(yīng)用範圍
產品特點
技(jì)術參數表
CJHL係列磁控多弧真空鍍膜機 | |||||||
型號 | CJHL-600 | CJHL-800 | CJHL-1000 | CJHL-1200 | CJHL-1400 | CJHL-1500 | CJHL-1600 |
真空室尺(chǐ)寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組(zǔ) | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機(jī)組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜(mó)係(xì)統 | 直流電源或中頻電源+多弧鍍膜電源(yuán)、多功能孿生磁環弧(hú)靶+矩形(xíng)平麵靶+圓柱磁控多弧兩用靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子輔助源(除工具鍍外無(wú)需加溫係統) | ||||||
充(chōng)氣係統 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 |
控製方(fāng)式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空(kōng) | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備(bèi)注 | 以上設(shè)備參數僅做(zuò)參考,具體均按客戶實際工藝要求(qiú)設計訂做 |