SF係列電子束(shù)蒸(zhēng)發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24996
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

電子束蒸(zhēng)發是將膜材放入水冷銅坩堝中(zhōng),直接利用電子束加熱,使膜材中(zhōng)的原子或分子從表麵汽化逸出後入射(shè)到基片(piàn)表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高(gāo)、束流(liú)密(mì)度大、蒸發速(sù)度快,製成的薄膜純度(dù)高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增(zēng)透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介(jiè)質膜、高反(fǎn)膜、彩色反射膜等各種膜係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜(mó),也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光(guāng)學鏡頭、冷光杯等產(chǎn)品的鍍膜要求。配置不(bú)同的蒸發源、電子槍和離子源及膜(mó)厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化(huà)合物(wù)及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石(shí)英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合(hé)實現對整個工作過程的自動控製,工作效率和產品(pǐn)質量重複性一致性優良.
2)適用於光學領域行業,大規(guī)模工業生產要求的廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室(shì)尺寸(cùn) Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴(kuò)散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵(bèng)機組KT630擴(kuò)散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵(bèng)機組
鍍膜係統電子槍(qiāng)蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製儀
控(kòng)製方式手動或半自動(dòng)
膜厚監控係統石(shí)英(yīng)晶(jīng)體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真(zhēn)空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數(shù)僅做參考,具體均(jun1)按客戶實際工藝要求設計訂做
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