CJ係列磁控濺射真(zhēn)空鍍膜機
日(rì)期:2016-01-16 13:28:37 人氣:81707
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的(de)磁控濺射(shè)工作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒(lì)子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵(miàn)原子從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種(zhǒng)現(xiàn)象。磁控濺(jiàn)射靶采用(yòng)靜止電磁場,磁場(chǎng)為曲線形,均勻電場和(hé)對數電(diàn)場則分別用於(yú)平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基(jī)片的(de)過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向(xiàng)基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表(biǎo)麵,使靶材發(fā)生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及(jí)儀(yí)器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層(céng),在鍍製超黑膜、純(chún)金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性(xìng)和重複性好(hǎo)。能夠(gòu)可靠的鍍製預定厚(hòu)度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象,在基片上形(xíng)成一層(céng)濺(jiàn)射(shè)原子與基片原子相互溶合的偽擴散(sàn)層(céng);
3)、製備特殊(shū)材料(liào)的薄膜,可以(yǐ)使(shǐ)用不同的材料同時濺射製備混合膜(mó)、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜(mó)層純度高,濺射膜層中不會混入坩(gān)鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫(wēn)離子輔助源,無需加(jiā)熱直接常(cháng)溫冷鍍成膜,節能省電,提(tí)高產能。
CJ係列磁控濺射真(zhēn)空(kōng)鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空(kōng)機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係(xì)統 | 直流(liú)或中頻電源(yuán)、鍍膜輔(fǔ)助離子專用電源 |
充(chōng)氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製(zhì)方式 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全自(zì)動(dòng) |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備(bèi)參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝(yì)要(yào)求設計訂做 |